Vertikale und laterale Diffusion von Dotierstoffen in sub-mym-Gate-Schichten von CMOS-Transistoren

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na, 1998 - 161 Seiten

Bibliografische Informationen

TitelVertikale und laterale Diffusion von Dotierstoffen in sub-mym-Gate-Schichten von CMOS-Transistoren
Autor/inAdrian Berthold
Verlagna, 1998
Länge161 Seiten
  
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