Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen

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Univ.-Verlag, 2012 - 125 Seiten

Bibliografische Informationen

TitelMikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen
Autor/inRoman Forke
VerlagUniv.-Verlag, 2012
ISBN3941003747, 9783941003743
Länge125 Seiten
  
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