Materials Issues in Silicon Integrated Circuit Processing: Symposium Held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.

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Marc Wittmer, James Stimmell, Michael Strathman
Materials Research Society, 1986 - 535 Seiten

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Inhalt

GETTERING IN SILICON
3
A QUANTITATIVE STUDY
13
ON THE MECHANISM OF INTRINSIC GETTERING BY BUTTERFLYTYPE
21
Urheberrecht

37 weitere Abschnitte werden nicht angezeigt.

Häufige Begriffe und Wortgruppen

Bibliografische Informationen